ONDA 超聲波量測儀及量測服務

HCT 氣穴量測儀

MCT-2000結合了高速數字化儀，頻譜分析儀和先進微處理器的強大功能，可產生聲壓譜。分析頻譜中的不同成分以量化來自直接場，穩定氣穴和瞬態氣穴化的基本頻率和壓力。具體地，基頻峰值內的壓力表示來自聲波的直接場壓力。諧波，次諧波和超諧波代表穩定的氣穴化，或者在尺寸和尺寸上振蕩的空腔。

MCT 數位超聲波壓力表

配備MCT-1200數位壓力計的HCT水聽器是一種值得信賴的儀器，用於監測超聲波清洗系統的相對聲學特性。其獨特的單點傳感設計允許局部測量，以生成清潔槽的真實三維聲學圖。

NPL CAVIMETER

CaviMeterTM是量測超聲波晶圓清洗槽中聲學氣穴化的理想選擇，由國家物理實驗室（NPL）開發，用於測量氣穴化產生的聲發射。氣穴化是響應於驅動超聲場而在液體介質內的微氣泡（或空腔）的生長，收縮和坍塌。來自氣穴內爆的能量足以克服微粒粘附力，因此用於超聲波清潔和其他超聲波處理應用，例如半導體晶片處理。過多的氣穴化也會損壞晶片襯底的矽表面和薄膜，通過仔細測量來開發和控制製程是必不可少的。

CTS SCANNER

自動掃描水聽器

CTS掃描儀可以使用HCT水聽器自動完成水聽器測繪。掃描儀可定制安裝到晶舟本體，無需定位對準。因為HCT水聽器的軸直徑僅為~3mm，所以可以在晶圓間獲取2D聲學曲線以模擬清潔過程中的實際條件。

使用水中聽音器來評定超音波清洗能力

儘管Ultrasonic和Megasonic被廣泛採用於清洗中，但聲波學特性並沒有得到很好的理解。HCT水聽器與MCT聲波儀為此提供了可靠的解決方案來評定和監測Ultrasonic和Megasonic清洗的聲學特性，其獨特的單點感應設計，讓具有高空間分辨率的測量提供了清洗槽的真實3維的清洗映射，堅固的結構可用於定期的監控聲壓量測，並確認清洗桶槽的清洗效率。

應用

• 取得聲波映射圖象來優化Ultrasonic和Megasonic的清洗效率
• 定期抽查清洗槽的聲場以對製程控制監控
• 比較桶槽對桶槽的性能，以保持生產環境的匹配
  
• 通過確定不同的化學物質，載荷條件，和電源設置的音波效果來制定和調整製程配方
  
• 確定清洗槽的問題，如傳感器脫落或故障衰減
  
• 通過直接將探頭連接示波器來收集低頻聲波信息
  

Acoustic Pressure Plot of a 970kHz Semiconductor 200mm Single Wafer Cleaner indicating near field and standing wave effects