CRS量測儀

F-RSC300 CRS Measurement System

• 針對TEL-NEXX 電鍍機台使用之CRS零件在使用壽命上做預防性判斷量測
• CRS對晶圓的密封性及對正性牽涉到電鍍的結果，使用次數增加時對每片密封性效果的好壞可能因材料差異而變異
• 此量測儀設計目的可針對CRS新品或使用過之舊品做 (1) 內圈2個Seal Ring做測量 (2) wafer alignment pin做測量，進而做預防性判斷是否需將該CRS做汰換，避免造成wafer電鍍問題