產品介紹
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CRS量測儀
F-RSC300 CRS Measurement System
- 針對TEL-NEXX 電鍍機台使用之CRS零件在使用壽命上做預防性判斷量測
- CRS對晶圓的密封性及對正性牽涉到電鍍的結果,使用次數增加時對每片密封性效果的好壞可能因材料差異而變異
- 此量測儀設計目的可針對CRS新品或使用過之舊品做 (1) 內圈2個Seal Ring做測量 (2) wafer alignment pin做測量,進而做預防性判斷是否需將該CRS做汰換,避免造成wafer電鍍問題